[实用新型]一种XYZ多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备有效
| 申请号： | 201621246474.5 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN206331232U | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 沈小宏;赵华 | 申请（专利权）人： | 无锡影速半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司23211 | 代理人： | 耿晓岳 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种XYZ多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备，属于直写曝光技术领域。本实用新型的XYZ多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备，主要对真空吸盘结构进行了改进，有效解决了生产小板时由于漏气而造成的吸力不足的问题。进一步地，吸盘上的气孔分布为中间疏、四周密，有效杜绝了板子边缘翘起的问题，节省了气孔数量，减少了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 xyz 扫描 驱动 移动 多棱镜 光路直写 设备 | ||
【主权项】：
一种XYZ多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备，其特征在于，所述XYZ多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备包括底座、多棱镜光路、步进驱动轴、连接板、真空吸盘、多个运动组件、相机；所述运动组件包括一个扫描驱动X轴、一个扫描驱动Y轴和一个升降驱动Z轴；真空吸盘位于运动组件上方；所述多棱镜光路通过连接板与步进驱动轴连接；所述真空吸盘包括吸盘主体和真空发生装置；吸盘主体上以行和列的形式分布一定数量的气孔，每一行气孔各对应一个继电器，每一列气孔也各对应一个继电器；每个气孔与真空发生装置之间连接有气孔开关；气孔开关同时与该气孔所在行的继电器和该气孔所在列的继电器连接；所述气孔在吸盘主体上呈中间疏、四周密的分布形式。
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