[实用新型]微动装置、显微镜扫描头及显微镜装置

摘要

本技术方案提供的微动装置，通过压力施加装置与支撑底座来向所述第一移动台和所述第二移动台施加垂直于第一方向和第二方向的力，与具有第一夹角的所述两个第一压电陶瓷接触面，和具有第二夹角的所述两个第二压电陶瓷接触面配合工作，提高了微动装置的准直性。所述微动装置还进一步包括第三方向微动组件，从而使得所述微动装置可以实现三维移动。另外，本技术方案还提供一种采用所述微动装置的显微镜扫描头和显微镜。

主权项

一种微动装置，其特征在于，包括：三个微动组件，每个微动组件包括移动台、支撑部以及压电陶瓷组，所述移动台具有两个压电陶瓷接触面，所述两个压电陶瓷接触面形成一夹角，所述压电陶瓷组设置于所述两个压电陶瓷接触面与所述支撑部之间；所述三个微动组件分别为第一方向微动组件、第二方向微动组件和第三方向微动组件，其分别通过所述压电陶瓷组驱动对应的所述移动台分别沿第一方向、第二方向和第三方向往复运动，所述第一方向、第二方向和第三方向相互垂直；压力施加装置和与所述压力施加装置间隔设置的支撑底座，所述压力施加装置与所述支撑底座通过弹性压力将所述第一方向微动组件与所述第二方向微动组件压合，所述弹性压力的方向垂直于所述第一方向和所述第二方向；所述第三方向微动组件中，所述支撑部联动于所述第一方向微动组件与第二方向微动组件，所述支撑部给所述移动台弹性压力，使所述移动台弹性压合设置于第三支撑部。