[实用新型]一种基于MEMS振镜和鼓镜的广角扫描系统有效
申请号: | 201621252045.9 | 申请日: | 2016-11-16 |
公开(公告)号: | CN206353216U | 公开(公告)日: | 2017-07-25 |
发明(设计)人: | 魏安琨 | 申请(专利权)人: | 合肥芯欣智能科技有限公司 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230000 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型涉及基于MEMS振镜和鼓镜的广角扫描系统,包括MEMS振镜(1)和鼓镜(4),及位于MEMS振镜(1)和鼓镜(4)之间的第一平凸透镜(2)和第二平凸透镜(3),第一平凸透镜(2)和第二平凸透镜(3)组成扩束镜,鼓镜(4)在步进电机带动下旋转,来自光源的光束到达MEMS振镜(1)并经其反射后得到小角度的扫描光束,然后到达第一平凸透镜(2),之后到达第二平凸透镜(3),经第一平凸透镜(2)和第二平凸透镜(3)进行扩束,最后再到达鼓镜(4),鼓镜(4)由步进电机带动旋转从而获得远场发散角小于0.5mrd的扫描光束。本实用新型可以降低对系统中器件的技术要求,从而能通过更小的成本实现相同甚至更高的技术指标,极大地削减成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 mems 广角 扫描 系统 | ||
【主权项】:
一种基于MEMS振镜和鼓镜的广角扫描系统,其特征在于,包括MEMS振镜(1)和鼓镜(4),以及位于所述MEMS振镜(1)和鼓镜(4)之间的第一平凸透镜(2)和第二平凸透镜(3),所述第一平凸透镜(2)和第二平凸透镜(3)组成扩束镜,所述鼓镜(4)在步进电机的带动下旋转,来自光源的光束先到达所述MEMS振镜(1)并经过所述MEMS振镜(1)反射后得到小角度的扫描光束,然后到达所述第一平凸透镜(2),之后到达所述第二平凸透镜(3),经过所述第一平凸透镜(2)和第二平凸透镜(3)进行扩束,最后再到达所述鼓镜(4),所述鼓镜(4)由步进电机带动旋转从而获得远场发散角小于0.5mrd的扫描光束。
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