[实用新型]MEMS结构有效
| 申请号： | 201621257084.8 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN206212271U | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;朱佳辉;黄慧宇 | 申请（专利权）人： | 北京卓锐微技术有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司11449 | 代理人： | 蔡纯,高青 |
| 地址： | 100191 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS结构。所述MEMS结构包括衬底，所述衬底设有贯穿其相对两个表面的通孔；结构层，所述结构层位于所述衬底上，所述结构层为至少一层，所述结构层中的每层包括与所述通孔对应的中间部分和环绕所述中间部分的周边部分，其中，所述结构层中的至少部分层设有贯穿所述周边部分向外界延伸的通道。当较强的气流进入该MEMS结构时，结构层周边部分的通道可以泄放其中至少部分气流，使得结构层受到冲击变小，避免损坏，提高MEMS结构的寿命和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 结构 | ||
【主权项】：
一种MEMS结构，其特征在于，包括：衬底，所述衬底设有贯穿其相对两个表面的通孔；结构层，所述结构层位于所述衬底上，所述结构层为至少一层，所述结构层中的每层包括与所述通孔对应的中间部分和环绕所述中间部分的周边部分，其中，所述结构层中的至少部分层设有贯穿所述周边部分向外界延伸的通道。
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