[实用新型]一种ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具

摘要

本实用新型公开了一种ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具，包括放置ZYGO激光干涉仪的测试平台，测试平台上设有一个便于放置待测量光学零件的固定夹具，固定夹具设于一个三轴调节夹具上后再设于防护罩中，三轴调节夹具中设有精密旋转台、水平调节平台和高度调节平台，精密旋转台中设有螺旋调节旋钮和旋转角度指示刻度盘，高度调节平台中设有两个同步螺旋调节旋钮，两个同步螺旋调节旋钮分别设于高度调节平台的对角线上；本实用新型能够利用三轴调节夹具中的精密旋转台、水平调节平台和高度调节平台单独调节待测量光学零件的位置，调节方便准确，特别适合微量精密调节，调节定位精度高、调节操作方便、能够调节测量效率、节省测量时间。

主权项

一种ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具，其特征在于：包括放置ZYGO激光干涉仪的测试平台，所述测试平台上设有一个便于放置待测量光学零件的固定夹具，所述固定夹具设于一个三轴调节夹具上，所述固定夹具和三轴调节夹具设于一个防护罩中，所述防护罩中设有一个便于翻转的防护盖，所述三轴调节夹具中设有一个能够调节所述固定夹具与测量光轴夹角的精密旋转台，所述精密旋转台上设有一个能够调节所述固定夹具与测量光轴偏移位置的水平调节平台，所述水平调节平台上设有一个能够调节所述固定夹具垂直高度的高度调节平台，所述精密旋转台中设有螺旋调节旋钮和旋转角度指示刻度盘，所述高度调节平台中设有两个同步螺旋调节旋钮，两个所述同步螺旋调节旋钮分别设于所述高度调节平台的对角线上。