[实用新型]一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置

摘要

本实用新型涉及单晶硅棒滚磨加工领域，旨在提供一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置。该装置包括磨削进给组件、磨削竖直移动组件和磨削动力头主轴组件三个部分，各组件分别控制和定位校对；磨削进给组件用于横向定位安装于磨削进给滑块安装台上的磨削竖直移动组件；磨削竖直移动组件用于纵向安装于其上的定位动力头主轴组件；动力头主轴组件用于驱动磨削砂轮转动以实现磨削；其中，电机通过变频电机联轴器与动力头主轴和磨削砂轮固连后，固定于磨削动力头安装座上。该装置能实现动力头横向、纵向精确定位、磨削砂轮可磨平面、外圆及V槽；大大降低单晶硅棒滚磨加工设备的复杂程度，同时大幅降低制造成本以及运转设备带来的人力成本。

主权项

一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置，包括用于磨削的磨削砂轮，其特征在于，该装置包括磨削进给组件、磨削竖直移动组件和磨削动力头主轴组件三个部分，各组件分别控制和定位校对；其中，所述磨削进给组件用于横向定位安装于磨削进给滑块安装台上的磨削竖直移动组件；其中，磨削前后电机通过水平方向联轴器与磨削进给丝杆固定连接后安装在磨削进给导轨座上；磨削进给滑块安装台通过磨削进给丝杆螺母与磨削进给丝杆固定连接后，通过磨削进给导轨滑块和磨削进给导轨安装在磨削进给导轨座上；所述磨削竖直移动组件用于纵向安装于其上的定位动力头主轴组件；其中，磨削竖直导轨座与磨削进给滑块安装台固定连接；磨削垂直电机、减速器通过竖直方向联轴器与磨削竖直丝杆固定连接后安装在磨削竖直导轨座上；磨削动力头安装座通过磨削竖直丝杆螺母与磨削竖直丝杆固定连接后，通过磨削竖直滑块和磨削竖直导轨安装在磨削竖直导轨座上；所述动力头主轴组件用于驱动磨削砂轮转动以实现磨削；其中，电机通过变频电机联轴器与动力头主轴和磨削砂轮固连后，固定于磨削动力头安装座上。