[实用新型]微机电器件基底结构有效
| 申请号： | 201621275176.9 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN206705672U | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 宋焱;韩冬;马清杰 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种微机电器件基底结构，包括具有上表面和下表面的衬底，设置在所述衬底的上表面的至少一层停止层及设置在最上层的停止层上的器件层。由于所采用的微机电器件基底结构具有设置在衬底与器件层之间的停止层，所以，采用该微机电器件基底结构在制造形成微机电器件时，其在干法刻蚀时，由于该停止层的存在，可以增强器件层的强度，避免器件层破损，进而提高成品率，同时又能够满足小尺寸器件制造；另外，由于该停止层存在，所以，在干法刻蚀时，允许刻蚀误差，使得制造工艺更容易操作，易于后续的微机电器件的量产。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 器件 基底 结构 | ||
【主权项】：
一种微机电器件基底结构，其特征在于，包括具有上表面和下表面的衬底，设置在所述衬底的上表面的至少一层停止层及设置在最上层的停止层上的器件层，所述衬底与最靠近所述衬底的一层的停止层为不同材料。
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