[实用新型]工艺液体输送系统有效
| 申请号： | 201621281040.9 | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN206290977U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 姜瑞丰;黄立佐;许明哲;叶荫晟 | 申请（专利权）人： | 弘塑科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/14 | 分类号： | F17D1/14;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于半导体设备的工艺液体输送系统，包含一电磁阀，与一气体供应源连接以导入一工作气体；一气动阀，与所述电磁阀连接以接收所述工作气体，并且包含至少一接口用于将所述工作气体通过所述至少一接口排出；一储存槽，用于储存一工艺液体；以及一泵，连接在所述气动阀的所述至少一接口与所述储存槽之间，用于接收所述工作气体以驱动所述泵产生将所述工艺液体从所述储存槽抽出的动力。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 液体 输送 系统 | ||
【主权项】：
一种用于半导体设备的工艺液体输送系统，其特征在于，包含：一电磁阀，与一气体供应源连接以导入一工作气体；一气动阀，与所述电磁阀连接以接收所述工作气体，并且包含至少一接口用于将所述工作气体通过所述至少一接口排出；一储存槽，用于储存一工艺液体；以及一泵，连接在所述气动阀的所述至少一接口与所述储存槽之间，用于接收所述工作气体以驱动所述泵产生将所述工艺液体从所述储存槽抽出的动力。
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