[实用新型]一种硅片脱胶清洗设备有效
| 申请号： | 201621283105.3 | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN206356306U | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 凌晓国;岳旭;余传江 | 申请（专利权）人： | 浙江钱江明士达光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/02 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)33253 | 代理人： | 李伊飏 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片脱胶清洗设备，包括有清洗箱和水箱，清洗箱内设有若干用于垂直放置硅片的硅片架，硅片架上设有若干朝下安装的喷嘴，喷嘴固定在清洗箱顶部，清洗箱顶部设有连通喷嘴的进水管，清洗箱底部设有回流口，回流口通过管道连接水箱上部的进水口，水箱下部设有出水口，出水口通过管道连接进水管，出水口与进水管之间设有高压水泵，水箱内设有恒温加热器。本实用新型的硅片脱胶清洗设备脱胶效果好，脱胶速度快，浪费的水及脱胶剂少，降低了工序成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 脱胶 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种硅片脱胶清洗设备，其特征在于，包括有清洗箱和水箱，清洗箱内设有若干用于垂直放置硅片的硅片架，硅片架上方设有若干朝下安装的喷嘴，喷嘴固定在清洗箱顶部，清洗箱顶部设有连通喷嘴的进水管，清洗箱底部设有回流口，水箱上设有进水口和出水口，回流口连接水箱上的进水口，水箱的出水口通过管道连接进水管，出水口与进水管之间设有高压水泵，水箱内设有恒温加热器。
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