[实用新型]一种能够提高多晶硅铸造质量的铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种能够提高多晶硅铸造质量的铸锭炉，包括具有夹层空间的炉体，炉体上设置有抽气孔，炉体内设置有保温罩，保温罩内部设有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩，所述石墨护罩由石墨盖板、石墨侧板和石墨底板构成，所述的石墨底板的底面开有凹槽，所述凹槽形状为环状正方形；所述石墨底板下方设置有热交换平台，所述石墨底板开有凹槽的一侧与热交换平台相接触，所述凹槽内设置有隔热条；所述石墨盖板上方设置有顶部加热器，所述顶部加热器中部呈向下凸出状，所述石墨侧板周围设有侧部加热器。本实用新型加热时坩埚内部水平方向温度较为均匀，加热效果好，多晶硅铸造品质高。

主权项

一种能够提高多晶硅铸造质量的铸锭炉，包括具有夹层空间的炉体，炉体上设置有抽气孔，炉体内设置有保温罩，保温罩内部设有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩，其特征在于：所述石墨护罩由石墨盖板、石墨侧板和石墨底板构成，所述的石墨底板的底面开有凹槽，所述凹槽形状为环状正方形；所述石墨底板下方设置有热交换平台，所述石墨底板开有凹槽的一侧与热交换平台相接触，所述凹槽内设置有隔热条；所述石墨盖板上方设置有顶部加热器，所述顶部加热器中部呈向下凸出状，所述石墨侧板周围设有侧部加热器；所述保温罩以及热交换平台通过设置在炉体底部的石墨支柱支撑。