[实用新型]一种阶梯脊型半导体激光器有效
申请号: | 201621287239.2 | 申请日: | 2016-11-22 |
公开(公告)号: | CN206195152U | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
发明(设计)人: | 朱振;张新;徐现刚 | 申请(专利权)人: | 山东华光光电子股份有限公司 |
主分类号: | H01S5/227 | 分类号: | H01S5/227;H01S5/343 |
代理公司: | 济南日新专利代理事务所37224 | 代理人: | 王书刚 |
地址: | 250101 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种阶梯脊型半导体激光器,该半导体激光器包括从下至上依次设置的衬底、下包层、有源区、第一上包层、第二上包层、第三上包层和接触层,所述第三上包层的厚度大于第二上包层的厚度,所述接触层与第三上包层构成第一条脊,所述第二上包层构成第二条脊,所述第二条脊的宽度大于第一条脊的宽度;制备步骤包括(1)在衬底上依次生长下包层、有源区、第一上包层、第二上包层、第三上包层和接触层;(2)将接触层上第一条形图以外的区域去除,深度至第三上包层底面,形成第一条脊;(3)去除第二上包层两侧部分,形成第二条脊。本实用新型使半导体激光器阈值电流及可靠性兼得,即可以获得较低的工作电流,又能具有较高的功率可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 阶梯 半导体激光器 | ||
【主权项】:
一种阶梯脊型半导体激光器,包括从下至上依次设置的衬底、下包层、有源区、第一上包层、第二上包层、第三上包层和接触层,其特征是:所述第三上包层的厚度大于第二上包层的厚度,所述接触层与第三上包层构成第一条脊,所述第二上包层构成第二条脊,所述第二条脊的宽度大于第一条脊的宽度。
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