[实用新型]一种阶梯脊型半导体激光器有效

专利信息
申请号: 201621287239.2 申请日: 2016-11-22
公开(公告)号: CN206195152U 公开(公告)日: 2017-05-24
发明(设计)人: 朱振;张新;徐现刚 申请(专利权)人: 山东华光光电子股份有限公司
主分类号: H01S5/227 分类号: H01S5/227;H01S5/343
代理公司: 济南日新专利代理事务所37224 代理人: 王书刚
地址: 250101 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种阶梯脊型半导体激光器,该半导体激光器包括从下至上依次设置的衬底、下包层、有源区、第一上包层、第二上包层、第三上包层和接触层,所述第三上包层的厚度大于第二上包层的厚度,所述接触层与第三上包层构成第一条脊,所述第二上包层构成第二条脊,所述第二条脊的宽度大于第一条脊的宽度;制备步骤包括(1)在衬底上依次生长下包层、有源区、第一上包层、第二上包层、第三上包层和接触层;(2)将接触层上第一条形图以外的区域去除,深度至第三上包层底面,形成第一条脊;(3)去除第二上包层两侧部分,形成第二条脊。本实用新型使半导体激光器阈值电流及可靠性兼得,即可以获得较低的工作电流,又能具有较高的功率可靠性。
搜索关键词: 一种 阶梯 半导体激光器
【主权项】:
一种阶梯脊型半导体激光器,包括从下至上依次设置的衬底、下包层、有源区、第一上包层、第二上包层、第三上包层和接触层,其特征是:所述第三上包层的厚度大于第二上包层的厚度,所述接触层与第三上包层构成第一条脊,所述第二上包层构成第二条脊,所述第二条脊的宽度大于第一条脊的宽度。
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