[实用新型]一种高效型铸锭炉有效
申请号: | 201621287247.7 | 申请日: | 2016-11-28 |
公开(公告)号: | CN206359658U | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
发明(设计)人: | 凌晓国;岳旭;余传江 | 申请(专利权)人: | 浙江钱江明士达光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)33253 | 代理人: | 李伊飏 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及多晶硅生产设备领域,具体涉及一种高效型铸锭炉,包括具有夹层空间的炉体,炉体上设置有抽气孔,炉体内设置有保温罩,保温罩内部设有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩,所述石墨护罩顶部设置有顶部加热器,所述顶部加热器中部呈向下凸出状,所述石墨护罩侧边设有侧部加热器,所述石墨护罩底部设置有热交换平台,所述热交换平台呈凸型并且热交换平台凸起的一面与石墨护罩底部相背;所述保温罩以及热交换平台通过设置在炉体底部的石墨支柱支撑。本实用新型使得对硅液中心加热和散热效果好,坩埚内部的硅液水平方向上温差变小,加热更加均匀,提高了铸锭效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 铸锭 | ||
【主权项】:
一种高效型铸锭炉,包括具有夹层空间的炉体,炉体上设置有抽气孔,炉体内设置有保温罩,保温罩内部设有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩,其特征在于:所述石墨护罩顶部设置有顶部加热器,所述顶部加热器中部呈向下凸出状,所述石墨护罩侧边设有侧部加热器,所述石墨护罩底部设置有热交换平台,所述热交换平台呈凸型并且热交换平台凸起的一面与石墨护罩底部相背;所述保温罩以及热交换平台通过设置在炉体底部的石墨支柱支撑。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江钱江明士达光电科技有限公司,未经浙江钱江明士达光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201621287247.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种能够提高多晶硅铸造质量的铸锭炉
- 下一篇:茶叶包装盒(莫干黄芽)