[实用新型]一种用于石墨舟的三轴定位装置有效
| 申请号： | 201621292928.2 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN206301771U | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 张孟彤 | 申请（专利权）人： | 上海弘枫实业有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/673;C23C16/458 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司31224 | 代理人： | 吕伴 |
| 地址： | 201716 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于石墨舟的三轴定位装置，包括定位板，在所述定位板上沿其长度方向间隔设有若干块用于定位石墨舟在组装过程Z方向的Z向定位块，在每一块Z向定位块的一端上分别设有用于定位石墨舟在组装过程Y方向的Y向定位块，在所述定位板的一端设有用于定位石墨舟在组装过程X方向的X向定位块。本实用新型能够有效的防止石墨舟在组装过程中发生扭曲，提高了石墨舟的组装质量、定位准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 石墨 定位 装置 | ||
【主权项】：
一种用于石墨舟的三轴定位装置，其特征在于，包括定位板，在所述定位板上沿其长度方向间隔设有若干块用于定位石墨舟在组装过程Z方向的Z向定位块，在每一块Z向定位块的一端上分别设有用于定位石墨舟在组装过程Y方向的Y向定位块，在所述定位板的一端设有用于定位石墨舟在组装过程X方向的X向定位块。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
