[实用新型]一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置

摘要

本实用新型一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置，属于等离子体技术领域。该装置中，真空室的顶部或侧面安装圆柱形放电腔；放电腔外部安装电磁线圈或永久磁铁；放电腔远离真空室的一端安装有微波窗口，微波窗口与微波波导一端连接，微波波导另一端连接微波源；微波源产生的微波在放电腔内与电磁线圈或永久磁铁的磁场共同作用发生放电，使单体发生聚合并沉积在基材表面形成聚合物涂层，微波源连续输出微波进行等离子体态聚合表面涂层，微波源断续输出微波进行等离子体引发聚合表面涂层。通过本实用新型的装置通入的载体气体压力低，单体扩散良好，从而使得制备的等离子体聚合表面涂层更加均匀。

主权项

一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置，其特征在于：在真空室(1)的顶部或侧面安装圆柱形放电腔(2)；放电腔(2)外部安装电磁线圈(3)或永久磁铁；放电腔(2)远离真空室的一端安装有微波窗口(4)，微波窗口(4)与微波波导(5)一端连接，微波波导(5)另一端连接微波源(6)；载体气体管路(7)一端连接载体气体源(8)，另一端连接放电腔(2)，并在放电腔(2)远离真空室(1)的一端开口；单体蒸汽管路(9)一端连接单体蒸汽源(10)，另一端连接真空室(1)并在真空室(1)内靠近放电腔(2)处开口；真空排气管(11)设置在真空室(1)远离放电腔(2)的一侧，且连接真空泵(12)。