[实用新型]一种紫外辐照辅助等离子体聚合表面涂层装置

摘要

本实用新型一种紫外辐照辅助等离子体聚合表面涂层装置，属于等离子体技术领域，用于在基材表面制备聚合物涂层。该装置中，在真空室内安装有等离子体源，真空室内安装紫外光源的阵列，载体气体管路的出口靠近等离子体源，单体蒸汽管路的出口距离等离子体源5‑30cm；排气管位于真空室远离等离子体源、载体气体管路出口和单体蒸汽管路出口的一侧；待处理的基材放在真空室内，将载体气体和单体蒸汽通入真空室内；放电产生等离子体；开启紫外光源；单体蒸汽在等离子体和紫外辐照双重作用下发生聚合并沉积在基材表面形成涂层。通过本实用新型装置制备的涂层具有能量和原料利用率高、涂层沉积率高、涂层均匀性好等优点。

主权项

一种紫外辐照辅助等离子体聚合表面涂层装置，其特征在于：在真空室(1)内安装有等离子体源(2)，在真空室(1)内远离等离子体源的区域内安装紫外光源(3)的阵列，载体气体管路(4)连接到真空室内的靠近等离子体源(2)一侧，载体气体管路另一端连接载体气体源，单体蒸汽管路(5)连接到真空室内等离子体源前方，单体蒸汽管路另一端连接单体蒸汽源；真空排气管(6)连接到真空室(1)内远离等离子体源(2)的一侧；真空排气管另一端连接到真空泵，待处理的基材(7)放在真空室(1)内。