[实用新型]一种等离子体聚合涂层装置

摘要

一种等离子体聚合涂层装置，属于等离子体工程技术领域，该装置真空室侧部的室体内壁任一横截面为相同直径的圆或相同边长的正多边形，正多边形边数至少为6边；真空室内壁处安装有多孔电极，多孔电极与高频电源连接，真空室外壁上密封安装有至少两个放电腔，放电腔与真空室内壁连接处设置有至少两层金属栅网，真空室内的中心轴上竖直安装有尾气收集管，真空室内设置有旋转置物架，所述旋转置物架的旋转轴与真空室的中心轴同轴，旋转置物架上放置待处理基材。该实用新型的装置采用中心轴对称真空室结构保持空间聚合反应活性物种浓度的稳定性，具有真空室的容积大，单次处理批量大，处理效率高、成本低、批处理均匀性良好等优点。

主权项

一种等离子体聚合涂层装置，包括真空室，其特征在于：所述真空室(1)侧部的室体内壁任一横截面为相同直径的圆或相同边长的正多边形，所述正多边形边数至少为6边；所述真空室(1)内靠近真空室(1)的内壁处安装有多孔电极(2)，所述多孔电极(2)为与真空室内壁保持间距的多孔弧面结构，所述多孔电极与高频电源(3)连接，所述真空室外壁上密封安装有至少两个放电腔(4)；所述放电腔与真空室内壁连接处设置有至少两层金属栅网(5)，所述金属栅网与真空室内壁绝缘，金属栅网与脉冲电源(6)连接，所述放电腔(4)内设有放电源(7)，放电源连接供电源(8)，所述放电腔连接有载体气体管路(9)，载体气体管路另一端连接到载体气体源，单体蒸汽管路(10)连接到真空室内，且其出口位于放电腔(4)前方，单体蒸汽管路另一端连接到单体蒸汽源；所述真空室内的中心轴上竖直安装有尾气收集管(11)，尾气收集管一端伸出真空室后与真空泵连接，所述尾气收集管的管壁上开孔；所述真空室内设置有旋转置物架(12)，所述旋转置物架的旋转轴与真空室的中心轴同轴，旋转置物架上放置待处理基材。