[实用新型]一种支撑垫片及设有该支撑垫片的铜质导管有效
| 申请号： | 201621308526.7 | 申请日： | 2016-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN206196120U | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 徐云洲;张伟 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫宇光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种支撑垫片，包括圆弧结构，所述圆弧结构上设有至少5个方向朝外的支撑直杆，所述支撑直杆均匀的分布在所述圆弧结构上，所述圆弧结构的圆心角的范围为240°~310°。本实用新型设有均匀分布的支撑直杆，避免铜管在石英管内发生形变，使得沉积薄膜膜厚、折射率均匀性好，减少色差返工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 垫片 设有 导管 | ||
【主权项】：
一种支撑垫片，其特征在于：包括圆弧结构，所述圆弧结构上设有至少5个方向朝外的支撑直杆，所述支撑直杆均匀分布在所述圆弧结构上，所述圆弧结构的圆心角的范围为240°~310°。
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