[实用新型]基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置有效
| 申请号： | 201621314487.1 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN206286936U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 杭伟;周立波;袁巨龙;赵军;吕冰海;邓乾发 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置，包括砂轮和基盘，所述砂轮与基盘之间为放置待加工铁电材料的加工工位，所述砂轮与基盘分别与带动其旋转的驱动机构连接，所述加工装置还包括反向电场装置、反向热场装置和化学场装置，所述反向电场装置形成的反向电场、所述反向热场装置形成的反向热场和所述化学场装置形成的化学场位于所述加工工位上。本实用新型提供一种提高加工效率的基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 耦合 材料 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置，包括砂轮和基盘，所述砂轮与基盘之间为放置待加工铁电材料的加工工位，所述砂轮与基盘分别与带动其旋转的驱动机构连接，其特征在于：所述加工装置还包括反向电场装置、反向热场装置和化学场装置，所述反向电场装置形成的反向电场、所述反向热场装置形成的反向热场和所述化学场装置形成的化学场位于所述加工工位上。
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