[实用新型]一种伺服控制高精度对位旋转平台

摘要

本实用新型公开了一种伺服控制高精度对位旋转平台，包括底座、X补正模块、Y补正模块和θ补正模块，所述X补正模块设置于底座上，所述Y补正模块设置于X补正模块上，所述θ补正模块设置于Y补正模块上，其中X补正模块和Y补正模块均包括有补正底座、伺服马达、丝杆组件、连接块、滑块和直线导轨，所述θ补正模块包括DD旋转马达和θ补正平台，所述X补正模块能够实现X向补正，所述Y补正模块，能够实现Y向补正，所述θ补正模块能够实现θ向补正。通过上述方式，本实用新型能够实现简化组装、控制补正算法计算，降低生产成本的目的。

主权项

一种伺服控制高精度对位旋转平台，其特征在于，包括：底座、X补正模块、Y补正模块和θ补正模块，所述X补正模块设置于底座上，所述Y补正模块设置于X补正模块上，所述θ补正模块设置于Y补正模块上；所述X补正模块包括：X向补正底座、伺服马达A、丝杆组件A、连接块A，所述X向补正底座通过滑块与X向直线导轨设置于底座上，所述伺服马达A设置于底座的一侧，所述伺服马达A的主轴连接丝杆组件A，所述丝杆组件A处设置有连接块A，所述连接块A连接至X向直线导轨对应的滑块；所述Y补正模块包括：Y向补正底座、伺服马达B、丝杆组件B、连接块B，所述Y向补正底座通过滑块与Y向直线导轨设置于X向补正底座上，所述Y向直线导轨垂直于X向直线导轨，所述伺服马达B设置于底座的一侧，所述伺服马达B的主轴连接丝杆组件B，所述丝杆组件B处设置有连接块B，所述连接块B连接至Y向直线导轨对应的滑块；所述θ补正模块包括：DD旋转马达和θ补正平台，所述DD旋转马达设置于Y向补正底座上，所述θ补正平台设置于DD旋转马达上。