[实用新型]一种光学波导阵列式X射线探测器

摘要

本实用新型提供一种光学波导阵列式X射线探测器。采用集成光学设计形成光学波导阵列实现了X射线脉冲对探测光束的调制，通过探测光束的检测获取X射线脉冲辐射的信息，实现了多通道X射线脉冲辐射探测。X射线脉冲辐照光学波导阵列时，光学波导中会产生瞬态载流子浓度变化，导致光学波导材料的光学性质发生变化，进而引起光学波导阵列中传播的探测光束的强度或位相发生变化。一种光学波导阵列式X射线探测器，包括探测光光源1、光纤分束器2、第一光纤阵列3、衬底4、光学波导阵列5、第二光纤阵列6以及光纤耦合探测模块7。

主权项

一种光学波导阵列式X射线探测器，其特征在于，包括探测光光源(1)、光纤分束器(2)、第一光纤阵列(3)、衬底(4)、光学波导阵列(5)、第二光纤阵列(6)以及光纤耦合探测模块(7)；所述探测光光源(1)为光纤耦合输出激光器，通过光纤与光纤分束器(2)连接；所述光纤分束器(2)对准第一光纤阵列(3)的输入端；所述第一光纤阵列(3)和第二光纤阵列(6)分别设置在光学波导阵列(5)的输入端面和输出端面，且第一光纤阵列(3)和第二光纤阵列(6)的各支光纤单元分别与光学波导阵列(5)的各个波导单元共轴；所述第一光纤阵列(3)每支光纤单元的输出端面和光学波导阵列(5)中对应的波导单元输入端面准直；第二光纤阵列(6)每支光纤单元的输入端面和光学波导阵列(5)中对应的波导单元输出端面准直；所述光纤耦合探测模块(7)对准第二光纤阵列(6)的输出端面；所述光学波导阵列(5)在衬底(4)上利用光刻工艺制作而成；其中光学波导阵列(5)中的各个波导单元为长方体结构，相互平行排列在衬底(4)上。