[实用新型]一种提高材料激光标刻品质和效率的装置

摘要

本实用新型公开了提高材料激光标刻品质和效率的装置，其包括激光器，用于发射激光；位于所述激光器后方的扩束镜；位于所述扩束镜后方的可调分束装置，所述可调分束装置用于对激光光束进行分束；位于所述可调分束装置后方的高速扫描振镜；位于所述高速扫描振镜后方的远心平场镜；位于远心平场镜后方的加工平台；以及计算机，所述计算机控制激光器、高速扫描振镜和加工平台对待加工件进行标刻。本实用新型采用固体激光器作为光源，提高材料标刻品质和精度，在光路中加入可调分束装置，将激光束分成若干束可调光斑大小和间距的光点，利用中空马达实时调节来保持分出的多光束与标刻方向相互垂直，同时标刻，提高了材料标刻的品质和效率。

主权项

一种提高材料激光标刻品质和效率的装置，其特征在于，包括：激光器，用于发射激光；位于所述激光器后方的扩束镜，用于对所述激光器发射的激光光束进行扩束准直；位于所述扩束镜后方的可调分束装置，所述可调分束装置用于对激光光束进行分束；位于所述可调分束装置后方的高速扫描振镜，用于改变激光光束的方向；位于所述高速扫描振镜后方的远心平场镜，用于对激光光束进行聚焦；位于远心平场镜后方的加工平台，所述加工平台用于放置并移动待加工工件；以及计算机，所述计算机控制激光器、高速扫描振镜和加工平台对待加工件进行标刻，其中，所述的激光器为固体激光器，所述的可调分束装置包括：旋转中空马达，所述旋转中空马达驱动一衍射光栅分束镜，所述衍射光栅分束镜后方设有一凸透镜，所述凸透镜后方设有一镜片距离调节座，所述镜片距离调节座上设有孔径光阑。