[实用新型]一种用于高效异质结电池片的真空吸笔有效
| 申请号： | 201621335311.4 | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN206271688U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 庄辉虎;林锦山;宋广华 | 申请（专利权）人： | 福建金石能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于高效异质结电池片的真空吸笔，包括依次连接的吸盘、笔杆及气体进口通道管，所述笔杆内部中空形成气体通道管，所述笔杆中部设有真空计，所述气体进口通道管上安装有调压阀。本实用新型吸盘与硅片的接触面积大，吸盘开孔小，保证吸力的同时，可以增大硅片的受力面积，能够实现对硅片表面均匀受力，避免硅片局部受力过大弯曲变形，可以最大程度地减少硅片非晶硅膜层受损，笔杆上设有真空计，实时监测吸附的压强，在气体进口通道管附有调压阀，可以有效地控制吸附的压力，保证操作过程中吸附压强的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高效 异质结 电池 真空 | ||
【主权项】：
一种用于高效异质结电池片的真空吸笔，其特征在于：包括依次连接的吸盘、笔杆及气体进口通道管，所述笔杆内部中空形成气体通道管，所述笔杆中部设有真空计，所述气体进口通道管上安装有调压阀。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
