[实用新型]一种传送手臂有效
| 申请号： | 201621336996.4 | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN206379334U | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 李琤 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种传送手臂，通过于至少一组支撑杆的卡销上设置一组对射激光传感器，以在拾取晶圆时，利用多组激光传感器彼此接受信号对晶圆位置进行检测，从而达到在晶圆传送过程中时刻能保证晶圆位置正确的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传送 手臂 | ||
【主权项】：
一种传送手臂，其特征在于，包括中心盘和若干组支撑杆；每组所述支撑杆均包括两个支撑杆，各所述支撑杆的一端与所述中心盘固定连接，另一端设置有卡销，且每组所述支撑杆中的两个支撑杆之间的连线均经过所述中心盘的中心；其中，各所述卡销均位于同一圆周上，且位于至少一组所述支撑杆上的两个卡销上设置有一组对射激光传感器。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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