[实用新型]一种用于三维光学扫描显微镜的XY轴校准的标准件有效
| 申请号： | 201621349685.1 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN206399368U | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 孙文娟 | 申请（专利权）人： | 孙文娟 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙)44248 | 代理人： | 王雨时 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于三维光学扫描显微镜的XY轴校准的标准件，其包括曲面阵列，所述曲面在XY平面上的投影为圆，所述曲面为球面或非球面。采用此技术方案，标准件可以被三维光学扫描显微镜检测，测量结果不受光学仪器最大测量角度的限制，也没有测量栅格标准件的典型误差；最关键的是，这种测量器材可以被变聚焦检测系统检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 三维 光学 扫描 显微镜 xy 校准 标准件 | ||
【主权项】：
一种用于三维光学扫描显微镜的XY轴校准的标准件，其特征在于：其包括曲面阵列，所述曲面在XY平面的投影为圆，所述曲面为球面或非球面。
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