[实用新型]硅片插片装置

摘要

本实用新型涉及两种硅片花篮中硅片转移的技术领域，尤其是一种硅片插片装置，该插片装置包括工作台、推杆及升降平台，推杆滑动设置在工作台的台面上，台面位于推杆的延伸方向上向下开设有缺口，推杆靠近缺口的一端端部固定有推板，升降平台滑动设置在缺口内，工作台上设置有用于驱动升降平台沿竖直方向往复运动的动力机构，本实用新型的硅片插片装置可一次性将小花篮中的硅片转移到大花篮中，解决了工艺流程中花篮不统一所带来的硅片转移效率低的问题，且大花篮插片工位切换简单，产能高，成本低，占地小，故障率低，有效了避免了高价采购自动化插片机，节约了生产成本。

主权项

一种硅片插片装置，用于承载相同硅片的大花篮(10)和小花篮(11)，大花篮(10)和小花篮(11)均等间隔分布有若干用于插设硅片的插槽(12)，大花篮(10)中插槽(12)的数量多于小花篮(11)中插槽(12)的数量，大花篮(10)中相邻两个插槽(12)的间距与小花篮(11)中相邻两个插槽(12)的间距相等，其特征在于：该插片装置包括工作台(1)、推杆(2)及升降平台(3)，所述推杆(2)滑动设置在工作台(1)的台面(101)上，所述台面(101)位于推杆(2)的延伸方向上向下开设有缺口(102)，所述推杆(2)靠近缺口(102)的一端端部固定有推板(4)，所述升降平台(3)滑动设置在所述缺口(102)内，所述工作台(1)上设置有用于驱动升降平台(3)沿竖直方向往复运动的动力机构。