[实用新型]扩散炉尾气排放管有效

专利信息
申请号: 201621355331.8 申请日: 2016-12-09
公开(公告)号: CN206247885U 公开(公告)日: 2017-06-13
发明(设计)人: 孙铁囤;姚伟忠;吴俊 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: F27D17/00 分类号: F27D17/00
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 代理人: 郑云
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种扩散炉尾气排放管,包括管体,所述管体上开设有从管体外壁延伸至管体内壁的进气口,所述进气口设于所述管体尾部,所述进气口通过气管与气源连通。本实用新型提供的一种扩散炉尾气排放管,采用扩散炉尾气排放管尾部设进气口,通过气管连接氮气气源对扩散炉尾气排放管内部吹气,解决了扩散炉尾气排放管经常会被偏磷酸堵塞现象,保证设备长期正常运行,提高了生产效率,避免了因为扩散炉尾气排放管堵塞造成的低效片;另一方面延长了石英扩散炉尾气排放管的使用寿命,避免了扩散炉尾气排放管因偏磷酸侵蚀造成的损坏,节约了生产成本。
搜索关键词: 扩散 尾气 排放
【主权项】:
一种扩散炉尾气排放管,其特征在于:包括管体(1),所述管体(1)上开设有从管体(1)外壁延伸至管体(1)内壁的进气口(2),所述进气口(2)设于所述管体(1)尾部,所述进气口(2)通过气管(6)与气源(7)连通。
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