[实用新型]一种带有铰链结构的光栅角度调节装置

摘要

本实用新型提供了一种带有铰链结构的光栅角度调节装置，包括调节基座和安装在调节基座内的调节腔；调节装置的侧壁上设置有入口和出口；调节腔内固安有光栅和平面反射镜；光栅接收从入口进入调节腔的光束，平面反射镜接收光栅的一级衍射光，平面反射镜的反射光束从出口出射。调节基座内安装有压电陶瓷；调节腔和调节基座为一体件，二者之间设有薄壁形式的铰链结构；在压电陶瓷驱动作用下，铰链结构产生形变使得调节腔相对调节基座微偏转。本实用新型能够实现外腔式半导体激光器的输出波长或输出频率的连续调谐，并且在调节范围内不受外界环境干扰，光路稳定。

主权项

一种带有铰链结构的光栅角度调节装置，包括调节基座和安装在调节基座内的调节腔；所述调节装置的侧壁上设置有一个入口和一个出口，入口和出口相连通；其特征在于：所述调节腔内固定安装有光栅和平面反射镜；所述光栅用于接收从所述入口进入调节腔的光束；所述平面反射镜用于接收所述光栅的一级衍射光；所述平面反射镜的反射光束从所述出口出射；所述调节基座内安装有压电陶瓷，所述压电陶瓷的压力作用方向垂直于所述平面反射镜或光栅反射面；所述调节腔和调节基座为一体件，调节腔和调节基座之间设置有铰链结构；所述铰链结构与压电陶瓷的压紧端接触；所述铰链结构包括设置在调节腔和调节基座之间的五个独立不相接的铰链槽，这五个铰链槽形成六边形，并且相邻两个铰链槽之间形成一个薄壁结构，所述薄壁结构即为铰链；所述六边形中有一组对边与所述压电陶瓷压力作用方向垂直，六边形的一个顶点作为所述调节腔的旋转中心；在压电陶瓷驱动作用下，所述铰链产生形变使得调节腔相对调节基座旋转一定角度。