[实用新型]基板移送装置以及包含其的基板处理系统与基板处理装置有效
| 申请号： | 201621364504.2 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN206537949U | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 李气雨;赵珳技 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基板移送装置以及包含其的基板处理系统与基板处理装置，所述基板移送装置对药液涂敷工艺得到处理的基板进行移送，其包括基板移送部，其包括独立地被分割的多个悬浮部，并且将基板以悬浮的状态进行移送；控制部，其个别地对通过多个悬浮板而产生的悬浮力进行控制，据此，可得到的效果在于，在没有基板的偏转的状态下，使得基板平坦地悬浮，并提高药液的涂敷均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 移送 装置 以及 包含 处理 系统 | ||
【主权项】：
一种基板移送装置，所述基板移送装置对处理药液涂敷工艺的基板进行移送，其特征在于，包括：基板移送部，其包括独立地被分割的多个悬浮部，并且将基板以悬浮的状态进行移送；控制部，其个别地对通过所述多个悬浮板而产生的悬浮力进行控制。
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