[实用新型]一种腐蚀量均匀改进的制绒设备有效
申请号: | 201621377143.5 | 申请日: | 2016-12-15 |
公开(公告)号: | CN206422082U | 公开(公告)日: | 2017-08-18 |
发明(设计)人: | 达良 | 申请(专利权)人: | 苏州库睿斯自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)31297 | 代理人: | 周高 |
地址: | 215217 江苏省苏州市吴江区吴江经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种腐蚀量均匀改进的制绒设备,涉及晶体硅太阳能电池的制绒设备技术领域,包括用于承装腐蚀液的制绒槽、用于传送硅片的滚轮,制绒槽包括位于上层的腐蚀槽和位于腐蚀槽下方的储液槽,腐蚀槽上部设有多个滚轮,储液槽内部设有输液泵浦及连接输液泵浦的输液管,还包括连接输液管的分液总管,分液总管连接有用于往腐蚀槽内均匀喷洒腐蚀液的腐蚀液均分装置,腐蚀液均分装置的另一端连接有回液管,回液管的上端位于腐蚀槽内、下端位于储液槽内,位于储液槽内的回液管上设有回液泵浦,输液泵浦、回液泵浦电连接压力控制器,本申请提供一种能改善制绒设备中腐蚀液与硅片反应均匀性、从而提高制绒面的一致性效果的腐蚀量均匀改进的制绒设备。 | ||
搜索关键词: | 一种 腐蚀 均匀 改进 设备 | ||
【主权项】:
一种腐蚀量均匀改进的制绒设备,包括用于承装腐蚀液的制绒槽、用于传送硅片的滚轮,所述制绒槽包括位于上层的腐蚀槽和位于所述腐蚀槽下方的储液槽,所述腐蚀槽上部设有多个滚轮,储液槽内部设有输液泵浦及连接所述输液泵浦的输液管,其特征在于,还包括连接所述输液管的分液总管,所述分液总管连接有用于往腐蚀槽内均匀喷洒腐蚀液的腐蚀液均分装置,所述腐蚀液均分装置上设有细小喷孔,所述腐蚀液均分装置的另一端连接有回液管,所述回液管的上端位于所述腐蚀槽内、下端位于所述储液槽内,位于所述储液槽内的回液管上设有回液泵浦,所述输液泵浦、回液泵浦电连接压力控制器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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