[实用新型]一种腐蚀量均匀改进的制绒设备有效

专利信息
申请号: 201621377143.5 申请日: 2016-12-15
公开(公告)号: CN206422082U 公开(公告)日: 2017-08-18
发明(设计)人: 达良 申请(专利权)人: 苏州库睿斯自动化设备有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67
代理公司: 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)31297 代理人: 周高
地址: 215217 江苏省苏州市吴江区吴江经*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种腐蚀量均匀改进的制绒设备,涉及晶体硅太阳能电池的制绒设备技术领域,包括用于承装腐蚀液的制绒槽、用于传送硅片的滚轮,制绒槽包括位于上层的腐蚀槽和位于腐蚀槽下方的储液槽,腐蚀槽上部设有多个滚轮,储液槽内部设有输液泵浦及连接输液泵浦的输液管,还包括连接输液管的分液总管,分液总管连接有用于往腐蚀槽内均匀喷洒腐蚀液的腐蚀液均分装置,腐蚀液均分装置的另一端连接有回液管,回液管的上端位于腐蚀槽内、下端位于储液槽内,位于储液槽内的回液管上设有回液泵浦,输液泵浦、回液泵浦电连接压力控制器,本申请提供一种能改善制绒设备中腐蚀液与硅片反应均匀性、从而提高制绒面的一致性效果的腐蚀量均匀改进的制绒设备。
搜索关键词: 一种 腐蚀 均匀 改进 设备
【主权项】:
一种腐蚀量均匀改进的制绒设备,包括用于承装腐蚀液的制绒槽、用于传送硅片的滚轮,所述制绒槽包括位于上层的腐蚀槽和位于所述腐蚀槽下方的储液槽,所述腐蚀槽上部设有多个滚轮,储液槽内部设有输液泵浦及连接所述输液泵浦的输液管,其特征在于,还包括连接所述输液管的分液总管,所述分液总管连接有用于往腐蚀槽内均匀喷洒腐蚀液的腐蚀液均分装置,所述腐蚀液均分装置上设有细小喷孔,所述腐蚀液均分装置的另一端连接有回液管,所述回液管的上端位于所述腐蚀槽内、下端位于所述储液槽内,位于所述储液槽内的回液管上设有回液泵浦,所述输液泵浦、回液泵浦电连接压力控制器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州库睿斯自动化设备有限公司,未经苏州库睿斯自动化设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201621377143.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top