[实用新型]一种搭配两套RTR装置的双台面直写曝光机

摘要

本实用新型公开了一种搭配两套RTR装置的双台面直写曝光机，包括基体、第一RTR装置、第二RTR装置、第一台面、第二台面、对准系统、曝光系统、第一固定架和第二固定架。在利用所述搭配两套RTR装置的双台面直写曝光机对软板进行加工的过程中，所述对准系统和所述曝光系统可不间歇的交替的对所述第一台面和第二台面上的软板分别进行对准和曝光的动作，节省了大量等待闲置的时间，突破了单台面直写曝光机的产能瓶颈，所述搭配两套RTR装置的双台面直写曝光机与现有技术相比，其产能有了显著的提高。

主权项

一种搭配两套RTR装置的双台面直写曝光机，其特征在于，包括：基体(18)，具有前侧面、与所述前侧面相对的后侧面、以及连接并垂直于所述前侧面和后侧面的上侧面；第一RTR装置，具有用于输入软板(19)的布置于所述前侧面的前方的第一上料装置(1)，以及用于输出来自所述第一上料装置(1)的软板(19)的布置于所述后侧面的后方的第一下料装置(5)；第二RTR装置，具有用于输入软板(19)的布置于所述前侧面的前方的第二上料装置(2)，以及用于输出来自所述第二上料装置(2)的软板(19)的布置于所述后侧面的后方的第二下料装置(6)；第一台面(3)，用于支撑由所述第一上料装置(1)输入的软板(19)，安装于所述上侧面；第二台面(4)，用于支撑由所述第二上料装置(2)输入的软板(19)，安装于所述上侧面；对准系统(9)，用于分别对所述第一台面(3)和第二台面(4)上的软板(19)进行对准动作，布置于所述第一台面(3)和第二台面(4)的后方；曝光系统(10)，用于分别对所述第一台面(3)和第二台面(4)上的软板(19)进行曝光动作，布置于所述对准系统(9)的后方，且位于所述第一下料装置(5)和第二下料装置(6)的前方。