[实用新型]钨化学沉积内腔等离子清洁终点控制器增益自动调节装置有效
| 申请号： | 201621380986.0 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN206479802U | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 张德培;睢智峰 | 申请（专利权）人： | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区郭*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 钨化学沉积内腔等离子清洁终点控制器增益自动调节装置，包括单片机核心控制模块、数字可调电阻和A/D转换。所述的单片机核心控制模块与数字可调电阻相连，另一端与A/D转换相连，通过A/D转换接收输出端的反馈信号。所述的数字可调电阻连接在终点控制器放大器两端，且与单片机核心控制模块相连。单片机核心控制模块根据输出端反馈信号，判断输出信号是否超出内部预设范围，从而调用不通过指令调节数字可调电阻阻值，最后使得输出值满足预设范围。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 等离子 清洁 终点 控制器 增益 自动 调节 装置 | ||
【主权项】：
钨化学沉积内腔等离子清洁终点控制器增益自动调节装置，其特征在于：包括单片机核心控制模块、数字可调电阻和A/D转换；所述的单片机核心控制模块与数字可调电阻相连，另一端与A/D转换相连，通过A/D转换接收输出端的反馈信号；所述的数字可调电阻连接在终点控制器放大器两端，且与单片机核心控制模块相连；单片机核心控制模块根据输出端反馈信号，判断输出信号是否超出内部预设范围，从而调用不通过指令调节数字可调电阻阻值，最后使得输出值满足预设范围。
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