[实用新型]单晶炉有效
| 申请号： | 201621382087.4 | 申请日： | 2016-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN206359654U | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 陈五奎;刘强;徐文州;耿荣军;党建平 | 申请（专利权）人： | 乐山新天源太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B15/10 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 614000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够降低热场温度变化对单晶硅生产质量造成影响的单晶炉。该单晶炉，包括炉体、石英坩埚；所述炉体上方设置有晶种提升旋转机构；所述炉体下部设置有坩埚拖杆；所述坩埚拖杆一端设置有钳锅托盘，所述石英坩埚安装在钳锅托盘上；所述坩埚拖杆的另一端设置有坩埚上升旋转机构；炉腔内设置有加热装置，加热装置与炉腔的内壁之间设置有保温层；炉腔底部设置有下部加热器；炉腔底部设置有凸台，坩埚拖杆上设置有与凸台匹配的环形套，所述环形套与凸台配合；所述坩埚拖杆上设置有支撑板，所述支撑板上设置有坩埚加热器。采用该单晶炉能够避免炉腔内的热量流失，保证炉腔内的热场温度，从而保证单晶硅的生产，保证单晶硅的产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 | ||
【主权项】：
单晶炉，其特征在于：包括炉体(1)、石英坩埚(4)；所述炉体(1)上方设置有晶种提升旋转机构(12)；所述炉体(1)下部设置有坩埚拖杆(2)；所述坩埚拖杆(2)一端从炉体(1)的底部延伸到炉体(1)的炉腔内，且设置有钳锅托盘(3)，所述石英坩埚(4)安装在钳锅托盘(3)上；所述坩埚拖杆(2)的另一端位于炉体(1)的下方，且设置有坩埚上升旋转机构(13)；所述炉体(1)的炉腔内设置有加热装置(5)，所述加热装置(5)与炉体(1)的内壁之间设置有保温层(7)；所述炉体(1)的炉腔底部设置有下部加热器(6)；所述炉体(1)的炉腔底部设置有凸台(11)，所述坩埚拖杆(2)从炉体(1)底部贯穿凸台(11)延伸到炉腔内，所述坩埚拖杆(2)上设置有与凸台(11)匹配的环形套(10)；所述环形套(10)与凸台(11)配合；所述坩埚拖杆(2)上设置有支撑板(8)，所述支撑板(8)位于钳锅托盘(3)的下方，所述支撑板(8)上设置有坩埚加热器(9)。
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