[实用新型]一种网版二次曝光用菲林片快速定位装置有效
申请号: | 201621385227.3 | 申请日: | 2016-12-16 |
公开(公告)号: | CN206301146U | 公开(公告)日: | 2017-07-04 |
发明(设计)人: | 杨国玉;胡实;陈富贵;刘晓 | 申请(专利权)人: | 常州三立精图光电有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 南京知识律师事务所32207 | 代理人: | 高桂珍 |
地址: | 213100 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种网版二次曝光用菲林片快速定位装置,属于网版领域。本实用新型的一种网版二次曝光用菲林片快速定位装置,包括菲林片二,所述的菲林片二上网印图案线宽比网版一次曝光用菲林片一网印图案线宽大50um~400um,菲林片二的四个角处均设置有靶标二,靶标二与设于网版一次曝光用菲林片一上的靶标一相互嵌套配合;所述的菲林片二上方设置有用于观察靶标一与靶标二是否相互嵌套的摄像头,该摄像头与显示屏连通,且该摄像头通过滑动驱动机构安装于竖向设置的安装侧板上。本实用新型结构简单,设计巧妙,定位快捷且精准,在第二曝光时既能够保证网版图案线条的精度又对网版上的乳胶进行了强化。 | ||
搜索关键词: | 一种 二次 曝光 用菲林片 快速 定位 装置 | ||
【主权项】:
一种网版二次曝光用菲林片快速定位装置,包括菲林片二(2),其特征在于:所述的菲林片二(2)上网印图案线宽比网版一次曝光用菲林片一(1)网印图案线宽大50um~400um,菲林片二(2)的四个角处均设置有靶标二(21),该靶标二(21)与设于菲林片一(1)上的靶标一(11)相互嵌套配合;所述的菲林片二(2)上方设置有用于观察靶标一(11)与靶标二(21)是否相互嵌套的摄像头(3),该摄像头(3)与显示屏(5)连通,且该摄像头(3)通过滑动驱动机构安装于竖向设置的安装侧板(4)上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州三立精图光电有限公司,未经常州三立精图光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201621385227.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种网版曝光时的抽真空辅助装置
- 下一篇:一种网版曝光用菲林片快速定位装置