[实用新型]一种LED阵列光源曝光系统

摘要

本实用新型实施例公开了一种LED阵列光源曝光系统，该LED阵列光源曝光系统包括LED阵列光源，包括多个呈矩阵式排列的单组光源，每个单组光源包括依次设置的LED芯片、半球镜片以及聚光镜片；光束整形镜片组，设置于聚光镜片远离LED芯片的一侧；反射镜，与光束整形镜片组远离LED阵列光源的一侧对应设置；DMD芯片，与反射镜上下对应设置；投影镜片组，与DMD芯片上下对应设置。本实用新型的LED阵列光源曝光系统大大缩减了设备的光源成本，延长了设备的使用寿命，通过阵列的摆放方式，在一开始就得到均匀的出光，简化了光束整形镜片组的结构，同时整体光学引擎的尺寸得到大幅缩减，减小了曝光机的空间压力。

主权项

一种LED阵列光源曝光系统，其特征在于，所述LED阵列光源曝光系统包括：LED阵列光源，包括多个呈矩阵式排列的单组光源，每个所述单组光源包括依次设置的LED芯片、半球镜片以及聚光镜片；光束整形镜片组，设置于所述聚光镜片远离所述LED芯片的一侧；反射镜，与所述光束整形镜片组远离所述LED阵列光源的一侧对应设置；DMD芯片，与所述反射镜上下对应设置，所述光束整形镜片组将从所述LED阵列光源获取的光斑缩小到所述DMD芯片的大小，然后通过所述反射镜反射到所述DMD芯片上；投影镜片组，与所述DMD芯片上下对应设置，所述DMD芯片上的光斑反射到所述投影镜片组，最终成像到曝光面。