[实用新型]冷却气体进料块和处理腔室

摘要

本实用新型公开了冷却气体进料块和处理腔室。所述冷却气体进料块具有主体。所述主体具有主中心部分，所述主中心部分具有顶表面和底表面。所述主体还具有凸缘，所述凸缘从所述主中心部分的所述底表面向外延伸。气体通道穿过所述主体设置。所述气体通道具有在所述主中心部分的所述顶表面中形成的入口和在所述主中心部分的所述底表面中形成的出口。所述主体还具有中心冷却剂通道。所述中心冷却剂通道具有第一部分和耦接至所述第一部分的第二部分，所述第一部分具有在所述主中心部分的顶表面中形成的入口，所述第二部分具有在所述凸缘的侧壁上形成的出口。

主权项

一种冷却气体进料块，其特征在于，所述冷却气体进料块包括：主体，所述主体包括：主中心部分，所述主中心部分具有顶表面和底表面；以及凸缘，所述凸缘从所述主中心部分的所述底表面向外延伸；气体通道，所述气体通道穿过所述主体设置，所述气体通道具有在所述主中心部分的所述顶表面中形成的入口和在所述主中心部分的所述底表面中形成的出口；以及中心冷却剂通道，所述中心冷却剂通道包括：第一部分，所述第一部分具有在所述主中心部分的所述顶表面中形成的入口；以及第二部分，所述第二部分耦接至所述第一部分，所述第二部分具有在所述凸缘的侧壁上形成的出口。