[实用新型]一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置

摘要

本实用新型公开了一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置。装置包含声表面波换能器、光预聚物、紫外固化灯和电动Z轴滑台，声表面波换能器沿圆周阵列分布，光预聚物置于换能器工作区域，紫外固化灯位于换能器下方以照射光预聚物，电动Z轴滑台位于上方以粘附单层微结构。本实用新型能快速制造出三维微结构，不需要掩膜版和模具，并且对设备要求较低，具有操作简单、成本低和效率高的特点。

主权项

一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置，其特征在于：所述装置置于光学隔振平台上，装置包括置于光学隔振平台上的电动Z轴滑台(1)、至少三对声表面波换能器(2)、紫外固化灯(3)，至少三对声表面波换能器(2)置于水平透明底板上，并沿圆周呈等间隔阵列布置，光预聚物涂敷在中央区域；紫外固化灯(3)安装在声表面波换能器(2)下方并朝向超声能场，用于使得超声能场激发形成光预聚物形成的立体周期性形貌固化成三维微结构；电动Z轴滑台(1)位于声表面波换能器(2)上方，用于粘附水平透明板上制成的三维微结构。