[实用新型]立式真空溅射镀膜机膜厚调节装置有效
| 申请号： | 201621403684.0 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN206502853U | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 李德勇 | 申请（专利权）人： | 苏州曼柯精密部件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙)32247 | 代理人： | 陈建中 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种立式真空溅射镀膜机膜厚调节装置，包括立式炉体、若干设置于所述立式炉体内的靶材、垂直设置于所述立式炉体内的中空充气架，所述中空充气架的中心线与所述立式炉体的中心线相重合，所述中空充气架的侧壁上开设有若干正对所述靶材的出气孔，所述中空充气架的两端闭合，所述中空充气架通过送气管道与气体控制柜上的气体调节阀相连通，其上下分布均匀，充气稳定、效率高、操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 真空 溅射 镀膜 机膜厚 调节 装置 | ||
【主权项】：
立式真空溅射镀膜机膜厚调节装置，其特征在于，包括立式炉体、若干设置于所述立式炉体内的靶材、垂直设置于所述立式炉体内的中空充气架，所述中空充气架的中心线与所述立式炉体的中心线相重合，所述中空充气架的侧壁上开设有若干正对所述靶材的出气孔，所述中空充气架的两端闭合，所述中空充气架通过送气管道与气体控制柜上的气体调节阀相连通。
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