[实用新型]真空溅射镀膜机膜厚调节装置有效
| 申请号： | 201621403707.8 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN206502854U | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 李德勇 | 申请（专利权）人： | 苏州曼柯精密部件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙)32247 | 代理人： | 陈建中 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空溅射镀膜机膜厚调节装置，包括立式炉体、若干设置于所述立式炉体内的靶材、垂直设置于所述立式炉体内的中空充气架，所述中空充气架的中心线与所述立式炉体的中心线相重合，所述中空充气架相对所述立式炉体相转动设置，所述中空充气架由电机驱动转动，所述中空充气架的侧壁上开设有若干正对所述靶材的出气孔，所述中空充气架的两端闭合，所述中空充气架通过送气管道与气体控制柜上的气体调节阀相连通，所述送气管道与所述中空充气架之间通过球形接头相连接，其上下分布均匀，充气稳定、效率高、操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 溅射 镀膜 机膜厚 调节 装置 | ||
【主权项】：
真空溅射镀膜机膜厚调节装置，其特征在于，包括立式炉体、若干设置于所述立式炉体内的靶材、垂直设置于所述立式炉体内的中空充气架，所述中空充气架的中心线与所述立式炉体的中心线相重合，所述中空充气架相对所述立式炉体相转动设置，所述中空充气架由电机驱动转动，所述中空充气架的侧壁上开设有若干正对所述靶材的出气孔，所述中空充气架的两端闭合，所述中空充气架通过送气管道与气体控制柜上的气体调节阀相连通，所述送气管道与所述中空充气架之间通过球形接头相连接；所述中空充气架的上下两端与所述立式炉体之间通过转动轴承相连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州曼柯精密部件有限公司，未经苏州曼柯精密部件有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621403707.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
