[实用新型]一种带有组合模具的充气流量可调的管式炉

摘要

一种带有组合模具的充气流量可调的管式炉，它涉及一种管式炉，具体涉及一种带有组合模具的充气流量可调的管式炉。本实用新型为了解决现有管式炉进行化学气相沉积反应时，其内部可用空间较小的问题。本实用新型包括炉壳、耐热绝缘材料层、第一电极、第二电极、热电偶和多个电热棒，耐热绝缘材料层设置在炉壳内，多个电热棒沿圆周方向均布插装在耐热绝缘材料层，第一电极、第二电极、热电偶均与电热棒连接，本实用新型还包括前模具、后模具、前挡板和后挡板，前模具和后模具由前至后并排设置在耐热绝缘层内，前挡板设置在前模具的外侧，后挡板设置在后模具的外侧，前模具和后模具上均布设有多个第一通孔和第二通孔。本实用新型属于化工领域。

主权项

一种带有组合模具的充气流量可调的管式炉，它包括炉壳(1)、耐热绝缘材料层(4)、第一电极(5)、第二电极(6)、热电偶(7)和多个电热棒(12)，耐热绝缘材料层(4)设置在炉壳(1)内，多个电热棒(12)沿圆周方向均布插装在耐热绝缘材料层(4)，第一电极(5)、第二电极(6)、热电偶(7)均与电热棒(12)连接，其特征在于：所述一种带有组合模具的充气流量可调的管式炉还包括前模具(8)、后模具(9)、前挡板(10)和后挡板(11)，前模具(8)和后模具(9)由前至后并排设置在耐热绝缘材料层(4)内，前挡板(10)设置在前模具(8)的外侧，后挡板(11)设置在后模具(9)的外侧，前模具(8)和后模具(9)上均布设有多个第一通孔(13)和第二通孔(14)。