[实用新型]一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置有效
| 申请号： | 201621408746.7 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN206305098U | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 王晓丽;景欢旺;吕海军;高超;项望 | 申请（专利权）人： | 江苏晶鼎电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00;B01D50/00 |
| 代理公司： | 北京市领专知识产权代理有限公司11590 | 代理人： | 林辉轮 |
| 地址： | 223700 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，包括硅片清洗机机顶前板，所述硅片清洗机机顶前板的上方设置有硅片清洗机排风管分管，所述硅片清洗机机顶前板与硅片清洗机排风管分管的连接处设置有排风管安装垫片，所述排风管安装垫片上设置有排风管分管固定螺栓，所述硅片清洗机排风管分管的上方中间位置处设置有硅片清洗机排风管汇流管，所述硅片清洗机机顶前板的两侧设置有冷凝回流器滑板，所述两个冷凝回流器滑板之间设置有冷凝回流器安装板，所述冷凝回流器安装板的前方设置有与冷凝回流器安装板垂直的水刮板，本实用新型的集水槽为凹槽型结构，通过集水槽收集水刮板刮下来的水珠，并通过冷凝回流器排水管集中排出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 风口 冷凝 回流 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，包括硅片清洗机机顶前板（5），其特征在于：所述硅片清洗机机顶前板（5）的上方设置有硅片清洗机排风管分管（3），所述硅片清洗机机顶前板（5）与硅片清洗机排风管分管（3）的连接处设置有排风管安装垫片（4），所述排风管安装垫片（4）上设置有排风管分管固定螺栓（1），所述硅片清洗机排风管分管（3）的上方中间位置处设置有硅片清洗机排风管汇流管（2），所述硅片清洗机机顶前板（5）的两侧设置有冷凝回流器滑板（14），所述两个冷凝回流器滑板（14）之间设置有冷凝回流器安装板（6），所述冷凝回流器安装板（6）的前方设置有与冷凝回流器安装板（6）垂直的水刮板（7），所述水刮板（7）的前方设置有集水槽（12），所述集水槽（12）与水刮板（7）的连接处设置有集水槽安装螺栓（13），所述集水槽（12）的一侧设置有冷凝回流器排水管（9），所述冷凝回流器排水管（9）与集水槽（12）的连接处设置有密封胶圈（8），所述冷凝回流器排水管（9）远离密封胶圈（8）的一端设置有双通管（10）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏晶鼎电子材料有限公司，未经江苏晶鼎电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621408746.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
