[实用新型]在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置

摘要

本实用新型公开了在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，包括第一箱体和第二箱体，第二箱体位于第一箱体的内部，且第一箱体和第二箱体之间连接有支架，第一箱体和第二箱体之间构成冷却腔，所述第一箱体的外侧壁上设有冷却液存储箱和液泵，冷却液存储箱位于液泵的下方，液泵的输出端通过导管延伸至冷却腔的内部，液泵的输入端通过导管连接有冷却液存储箱，冷却液存储箱的底端连接有导液管，导液管与冷却腔相连通。本实用新型通过第一箱体、第二箱体、加热管、液泵和冷却液存储箱的设置，能够在蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层时提供合适的温度环境，实现高温加热和快速冷却，满足不同的温度需求，提高其生长工作效率。

主权项

在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，包括第一箱体（5）和第二箱体（3），第二箱体（3）位于第一箱体（5）的内部，且第一箱体（5）和第二箱体（3）之间连接有支架（12），第一箱体（5）和第二箱体（3）之间构成冷却腔，其特征在于，所述第一箱体（5）的外侧壁上设有冷却液存储箱（7）和液泵（8），冷却液存储箱（7）位于液泵（8）的下方，液泵（8）的输出端通过导管延伸至冷却腔的内部，液泵（8）的输入端通过导管连接有冷却液存储箱（7），冷却液存储箱（7）的底端连接有导液管，导液管与冷却腔相连通，导液管上设有阀门（6），所述第一箱体（5）上设有三个进气管（9），进气管（9）均延伸至第二箱体（3）的内部，第二箱体（3）内部侧壁上设有多个加热管（10），第二箱体（3）的内壁底端设有固定座（1），固定座（1）内设有电动机（2），电动机（2）的输出轴连接有旋转台（4），旋转台（4）上设有固定装置（11），所述固定装置（11）包括旋转轴（16），旋转轴（16）的底端焊接在旋转台（4）上，旋转轴（16）的四周设有三个阵列排布的第一连接杆（15），第一连接杆（15）远离旋转轴（16）的一侧侧壁上开凹槽，凹槽内滑动连接有第二连接杆（13），第二连接杆（13）与凹槽的底端侧壁之间连接有弹簧（14），第二连接杆（13）远离第一连接杆（15）的一侧设有夹块（17）。