[实用新型]叉指换能器的多层金属电极结构有效
| 申请号： | 201621422225.7 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN206272582U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 陆增天;李起;毛宏庆;王绍安;吴庄飞;李壮 | 申请（专利权）人： | 无锡市好达电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙)32228 | 代理人： | 张悦,聂启新 |
| 地址： | 214124 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种叉指换能器的多层金属电极结构，包括压片基底叉指换能器的多层金属电极结构；所述压片基地之上固定有多个电极；相邻电极之间的距离为固定值；所述电极包括由下至上的第一层叉指换能器的多层金属电极结构、第二层叉指换能器的多层金属电极结构和第三层叉指换能器的多层金属电极结构；所述第一层叉指换能器的多层金属电极结构的材料为Ti，厚度为0～10nm；所述第二层叉指换能器的多层金属电极结构材料为Ni，厚度为0～10nm；所述第三层叉指换能器的多层金属电极结构的材料为Al，厚度为90～150nm。本实用新型提供了一种抗应力迁移、低电阻的高频声表面波器件多层金属电极结构，能显著增加器件的功率耐受性，器件损耗显著降低。 | ||
| 搜索关键词： | 叉指换能器 多层 金属电极 结构 | ||
【主权项】：
一种叉指换能器的多层金属电极结构，其特征在于，包括压片基底(1)；所述压片基地之上固定有多个电极；相邻电极之间的距离为固定值；所述电极包括由下至上的第一层(2)、第二层(3)和第三层(4)；所述第一层(2)的材料为Ti，厚度为0～10nm；所述第二层(3)材料为Ni，厚度为0～10nm；所述第三层(4)的材料为Al，厚度为90～150nm。
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