[实用新型]匀光系统有效
| 申请号： | 201621426257.4 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN206479726U | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 李琳 | 申请（专利权）人： | 苏州亿拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙)33273 | 代理人： | 袁丽花 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种匀光系统，包括光源、以及沿所述光源光路上依次设置的第一聚焦镜、准直扩束镜、滤光片、第二聚焦镜和匀光管。该匀光系统可对光学系统中指定的平面区域实现均匀光强照射，该匀光系统可以进一步提升匀光管的均匀化效果，可应用于光刻加工和光电检测等高端领域。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 | ||
【主权项】：
一种匀光系统，其特征在于，包括光源、以及沿所述光源光路上依次设置的第一聚焦镜、准直扩束镜、滤光片、第二聚焦镜和匀光管。
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