[实用新型]一种检测表面缺陷的散射光高效收集装置有效
| 申请号： | 201621430893.4 | 申请日： | 2016-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN206348280U | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 董敬涛;钱章尧;陈坚;吴周令 | 申请（专利权）人： | 合肥知常光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙)34115 | 代理人： | 金凯 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种检测表面缺陷的散射光高效收集装置，包括抛物线散射光收集器，所述抛物线散射光收集器具有抛物线焦点F1，待测缺陷位于抛物线焦点F1处，待测缺陷的散射光经过抛物线散射光收集器内表面和位于抛物线散射光收集器中心的第一透镜准直后平行射出，射出的光经过设置在抛物线散射光收集器上方的第一透镜聚焦进入散射光探测器并被探测，散射光探测器设置在第二透镜光射出方向的焦点处。将经过散射光收集器的缺陷点的散射光全部收集到散射光探测器中，具有更高的收集效率、系统信噪比和检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 表面 缺陷 散射 高效 收集 装置 | ||
【主权项】：
一种检测表面缺陷的散射光高效收集装置，其特征在于，包括抛物线散射光收集器，所述抛物线散射光收集器具有抛物线焦点F1，待测缺陷位于抛物线焦点F1处，待测缺陷的散射光经过抛物线散射光收集器内表面和位于抛物线散射光收集器中心的第一透镜准直后平行射出，射出的光经过设置在抛物线散射光收集器上方的第一透镜聚焦进入散射光探测器并被探测，散射光探测器设置在第二透镜光射出方向的焦点处。
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