[实用新型]一种声表面波滤波器反射栅结构有效
| 申请号： | 201621431474.2 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN206313742U | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 掌庆冠;张莉;王绍安;吴庄飞;陆增天 | 申请（专利权）人： | 无锡市好达电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙)32228 | 代理人： | 张悦,聂启新 |
| 地址： | 214124 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种声表面波滤波器反射栅结构，包括压电基底；所述压电基底之上制作有叉指换能器；所述叉指换能器两侧为反射栅；还包括连接所述叉指换能器和所述反射栅的汇流条；在所述反射栅的外侧、所述汇流条的末端还连接有多根补偿反射栅；所述补偿反射栅平行于所述反射栅；所述补偿反射栅的宽度宽于所述反射栅。本实用新型在反射栅边缘部位增加了数根补偿发射栅，加大了图形表面积同时减小了反射栅在显影阶段受水力冲击的力道，保证了图形的完整性。稳定实现了在对25微米极限线条的光刻工艺，经过验证，可提高成品良率约10％左右。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 滤波器 反射 结构 | ||
【主权项】：
一种声表面波滤波器反射栅结构，包括压电基底(6)；所述压电基底(6)之上制作有叉指换能器(1)；所述叉指换能器(1)两侧为反射栅(2)；还包括连接所述叉指换能器(1)和所述反射栅(2)的汇流条(4)；其特征在于，在所述反射栅(2)的外侧、所述汇流条(4)的末端还连接有多根补偿反射栅(3)；所述补偿反射栅(3)平行于所述反射栅(2)；所述补偿反射栅(3)的宽度宽于所述反射栅(2)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡市好达电子有限公司，未经无锡市好达电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621431474.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：粗轧工作辊防偏稳定装置
- 下一篇：用于轧机的除油装置
