[实用新型]碱蚀刻机蚀刻槽用槽体盖板的改良结构有效

专利信息
申请号: 201621436926.6 申请日: 2016-12-26
公开(公告)号: CN206319063U 公开(公告)日: 2017-07-11
发明(设计)人: 吴思敬 申请(专利权)人: 苏州亚硕新能源有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08
代理公司: 昆山四方专利事务所32212 代理人: 盛建德,陈宁
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种碱蚀刻机蚀刻槽用槽体盖板的改良结构,该经改良后的槽体盖板包括左、右盖板和连接座,其中连接座与现有技术中的一体式连接座不同,其包括芯轴和同时套设于该芯轴上的左、右连接件,且该左、右连接件能够绕该芯轴转动,左、右连接件上分别固设有左、右盖板,由于该连接座采用了能够绕芯轴转动的左、右连接件代替原来的一体式连接件,因此在实际使用时可根据实际需要来决定是打开一半的盖板还是打开全部盖板,且由于采用了上述具有活页式结构的连接座,在长期使用后盖板不会出现断裂的情况,使其使用寿命由原来的3个月延长至一年以上,大大增长了使用期限。
搜索关键词: 蚀刻 槽用槽体 盖板 改良 结构
【主权项】:
一种碱蚀刻机蚀刻槽用槽体盖板的改良结构,包括一左盖板(1)、一右盖板(2)和一连接座(3),所述左、右盖板分别固连于连接座的两侧,其特征在于:所述连接座包括芯轴(31),该芯轴的两端形成有螺纹限位部(311);上螺纹锁紧件(32),该上螺纹锁紧件螺纹锁紧于芯轴一端的螺纹限位部;下螺纹锁紧件(33),该下螺纹锁紧件螺纹锁紧于芯轴另一端的螺纹限位部;左连接件(34),该左连接件呈条块状结构,该条块状结构的一侧朝内凹进形成有恰能容左盖板的边缘插设其中的左卡位槽(341),该条块状结构的另一侧形成有间隔设置的朝外凸起的若干个第一限位凸块(342),相邻两第一限位凸块之间的空隙形成第一空档位(343),且第一限位凸块上均形成有供芯轴穿设其中的第一通孔(344);和右连接件(35),该右连接件呈条块状结构,该条块状结构的一侧朝内凹进形成有恰能容右盖板的边缘插设其中的右卡位槽(351),该条块状结构的另一侧形成有间隔设置的朝外凸起的若干个第二限位凸块(352),相邻两第二限位凸块之间的空隙形成第二空档位(353),且第二限位凸块上均形成有供芯轴穿设其中的第二通孔(354);所述第二限位凸块(352)恰能填充于第一空档位(343)内,且所述第一限位凸块(342)恰能填充于第二空档位(353)内,第一通孔与第二通孔连通形成能够使芯轴穿设其中的通道,且所述左、右连接件能够绕该芯轴转动。
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