[实用新型]一种基于闭环控制的超快激光加工系统

摘要

本实用新型公开了一种基于闭环控制的超快激光加工系统，包括激光器；反射镜；压电陶瓷二维偏摆台，用于带动反射镜偏摆而控制激光束的指向；分光镜，用于将反射镜反射后的激光束分光，形成第一激光束和第二激光束；加工载台，设于分光镜的第一出光侧，并且第一激光束射向工件表面；光斑位置检测装置，第二激光束射向光斑位置检测装置，藉由光斑位置检测装置来检测第二激光束的光斑位置，并输出光斑位置电信号；控制器，用于接收上位机指令和光斑位置电信号，并根据上位机指令和光斑位置电信号控制激光器出射激光束的功率和控制压电陶瓷二维偏摆台的偏摆轨迹。本实用新型结构简单、响应速度快、加工精度高、稳定性好。

主权项

一种基于闭环控制的超快激光加工系统，其特征在于，包括有：一激光器(1)，用于出射激光束；一反射镜(2)，设于激光器(1)的出光侧，所述反射镜(2)用于反射激光束；一压电陶瓷二维偏摆台(3)，用于带动反射镜(2)偏摆而控制激光束的指向；一分光镜(4)，设于反射镜(2)出光侧，所述分光镜(4)用于将反射镜(2)反射后的激光束分光，形成第一激光束和第二激光束；一加工载台(5)，用于承载待加工的工件，所述第一激光束射向工件表面；一光斑位置检测装置(6)，所述第二激光束射向光斑位置检测装置(6)，所述光斑位置检测装置(6)用于检测第二激光束的光斑位置，并输出光斑位置电信号；一控制器(7)，所述激光器(1)、压电陶瓷二维偏摆台(3)和光斑位置检测装置(6)分别电性连接于控制器(7)，所述控制器(7)用于接收上位机指令和光斑位置电信号，并根据上位机指令和光斑位置电信号控制激光器(1)出射激光束的功率，以及控制压电陶瓷二维偏摆台(3)的偏摆轨迹。