[实用新型]由FFU组成的万级无尘室有效

专利信息
申请号: 201621442054.4 申请日: 2016-12-27
公开(公告)号: CN206361823U 公开(公告)日: 2017-07-28
发明(设计)人: 莫其森 申请(专利权)人: 加宏科技(无锡)有限公司
主分类号: F24F1/00 分类号: F24F1/00;F24F13/28;F24F11/00
代理公司: 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙)32208 代理人: 丁骞
地址: 214251 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种由FFU组成的万级无尘室,它包括无尘室主体,在所述无尘室主体上至少设有一个FFU独立单元,所述FFU独立单元与无尘室主体活动连接,所述FFU独立单元包括FFU主机,在所述FFU主机前部设有过滤器,在所述FFU主机后部设有回风金属软管,在所述无尘室主体内部的回风金属软管端部设有回风口,在所述无尘室主体外部的回风金属软管与FFU主机连接处设有风机,所述FFU主机与控制器相连。本实用新型根据不同需求灵活设置FFU独立单元,制造成本低,维护方便。
搜索关键词: ffu 组成 万级无尘室
【主权项】:
由FFU组成的万级无尘室,其特征在于:它包括无尘室主体(1),在所述无尘室主体(1)上至少设有一个FFU独立单元(2),所述FFU独立单元(2)与无尘室主体(1)活动连接,所述FFU独立单元(2)包括FFU主机(3),在所述FFU主机(3)前部设有过滤器(4),在所述FFU主机(3)后部设有回风金属软管(5),在所述无尘室主体(1)内部的回风金属软管(5)端部设有回风口(6),在所述无尘室主体(1)外部的回风金属软管(5)与FFU主机(3)连接处设有风机(7),所述FFU主机(3)与控制器(8)相连。
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