[实用新型]MEMS传感器有效
| 申请号： | 201621443379.4 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN206488866U | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | 王凯;陈虎;刘国俊 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/00 | 分类号： | G01K11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS传感器，所述MEMS传感器包括设有收容空间的封装结构以及设置于所述收容空间中用于探测传感器信号的MEMS芯片和具有若干电路模块的ASIC芯片，所述ASIC芯片上的电路模块包括与MEMS芯片相连的信号处理模块，所述信号处理模块处理所述MEMS芯片探测到的传感器信号并输出经过处理的传感器信号，所述ASIC芯片上的电路模块还包括用于探测温度信号并输出该温度信号的温度探测模块，本实用新型可实时检测工作环境温度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 | ||
【主权项】：
一种MEMS传感器，所述MEMS传感器包括设有收容空间的封装结构以及设置于所述收容空间中用于探测传感器信号的MEMS芯片和具有若干电路模块的ASIC芯片，所述ASIC芯片上的电路模块包括与MEMS芯片相连的信号处理模块，所述信号处理模块处理所述MEMS芯片探测到的传感器信号并输出经过处理的传感器信号，其特征在于，所述ASIC芯片上的电路模块还包括用于探测温度信号并输出该温度信号的温度探测模块。
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