[实用新型]MEMS声换能器及电子设备有效
| 申请号： | 201621446151.0 | 申请日： | 2016-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN206640794U | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | M·佩尔勒蒂;I·瓦里斯科;L·拉玛格纳;S·阿多尔诺;G·加特瑞;C·瓦尔扎希纳;S·康蒂 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 王茂华,杨立 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种MEMS声换能器，其设置有半导体材料的衬底，具有背表面和相对于垂直方向相反的前表面；形成在衬底内的第一腔，其从背表面延伸到前表面；膜，其布置在上表面处，悬置在第一腔的上方并沿着其周界锚定到衬底；以及梳齿状电极布置，其包括耦接到膜的多个可移动电极以及耦接到衬底并面向相应的可移动电极以形成感测电容器的多个固定电极，其中作为入射声波压力波的结果的膜的变形引起感测电容器的电容变化。特别地，梳齿状电极布置相对于膜垂直地放置并且平行于膜延伸。 | ||
| 搜索关键词： | mems 声换能器 电子设备 | ||
【主权项】：
一种MEMS声换能器，其特征在于，所述MEMS声换能器包括：半导体材料的衬底，具有背表面和相对于垂直方向相反的前表面；在所述衬底中的第一腔，所述第一腔从所述背表面延伸到所述前表面；膜，在所述前表面处并且悬置在所述第一腔上方，所述膜的周界锚定到所述衬底；以及梳齿状电极布置，包括耦接到所述膜的多个可移动电极以及耦接到所述衬底并面对所述多个可移动电极以形成感测电容器的多个固定电极，作为入射声压力波的结果的所述膜的变形被构造成引起所述感测电容器的电容变化，其中所述梳齿状电极布置相对于所述膜垂直地放置并且平行于所述膜延伸。
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